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高純氣體輸送管路系統的質量好壞，將會直接影響到高純氣體的純度、潔凈度?、干燥度。因此，對于高純氣體輸送系統的設計、選材、加工制造、潔凈處理及安裝使用過程中的各環節嚴格控制都有十分重要的意義。
1 材料表面處理?
未經處理的材料表面會粘附有氧化皮，油污、灰塵、金屬碎屑等雜質。如果將不經處理或處理得不徹底的材料用于高純氣體管路系統，氣流的沖刷、溫度及壓力等因素的變化，對材料表面出氣會造成影響，會不可避免地造成氣體質量下降和潔凈管道污染，甚至引起部件損壞與報廢。眾所同知．金屬材料的表面與氣體分子存在著吸附與解吸現象，當氣體的壓力、溫度等條件一定時，吸附與解吸只與材料實際表面大小及處理情況(拋光、清洗等)有關。因此，對高純氣體輸送裝置的表面進行處理主要有兩個目的，即清除材料表面的有害雜質和獲得高質量的表面光潔度。清洗工作的一般順序為機城清洗、酸洗、去垢清洗和去油脫脂。國外多采用在密閉的塑料容器中加入三氯乙烯，用超聲波清洗的方法對管閥件成品進行最終清洗，以保證電子級高純氣體管閥件的特殊潔凈要求。?
2 材料的選擇
實踐證明，高純氣體輸送管路采用不銹鋼材料較為理想，不銹鋼對雜質及水份的活性較其它材料弱，耐腐蝕及機械工藝性、綜合經濟性都較好。對于抽真空的系統來說，不銹鋼的出氣率也較低，僅為銅材的十分之一，為橡膠樹脂的千分之一。要特別注意的是，由于所有氣體對有機聚合物都有較高的滲透率，因此，在高純氣體的管路中絕對不允許使用非金屬管線、密封墊片，以及非金屬隔膜的減壓閥、膜片閥等。否則，系統內外氣體的相互滲透將會降低氣體的質量。在實際應用中，材料的選擇必須考慮使用介質的性質及使用條件(溫度、壓力、環境)。并且，不銹鋼材料也不適用于任何濃度的鹽酸。管材必須選用無縫管材。管子的內外表面質量、外徑公差及圓度要符合設計要求。表面擦傷及任何一種即使不太明顯的內外表面缺陷都是應力源，都會引起腐蝕的不均勻性，從而降低了在交變載荷和活性介質作用條件下管道的耐腐蝕—— 疲勞破壞能力。在旋工和運輸中，不能把管子在地面及硬的物體上拖拉，以免劃傷管子表面。管子外徑及壁厚的選擇除了考慮系統的壓力、流量外，還要注意采用卡套連接的管子壁厚要合適。管壁太簿，卡環將會壓壞管子；管壁太厚，卡環就不能使管子恰當變形，同樣起不到密封作用。
3．必須注意不要使管子在受力狀態下
這種結構無論采用什么連接方式，都很難保證管子兩端的密封面同時部完全接觸，而且溫度變化時，將會使密封表面移動改變。
4．彎管必須冷加工
并且要使用臺適的機械，不準重復彎管。彎管處有壓扁、彎折、起皺現象的管子不能使用。
5．管子鋸開或切開
要保證管子切口與管壁垂直，最好使用專用工具清除管子切口內外的毛刺。特別注意不要讓碎屑進入管內，并要用潔凈的空氣或氨氣吹除。因為旋工實踐表明，管道內的金屬碎屑，多是此時殘留下來的，對小13徑管( 3ram 以下)不可用鋸鋸斷，可用三角或尖銼繞管外徑統一．圈溝槽，然后斷開，避免毛刺堵塞內孔。
6．在安裝閥門時要注意閥體上的流向
標志安裝應使得當工作系統有壓力時，總是把壓力端接到閥頭下面的空腔，而不是接到閥頭上面的填料或膜片處。當閥門處于關閉狀態時，這種連接方式可保證工作系統發生外瓣的機會最少。閥門要安裝在顯眼和容易操作的位置，不要讓操作者的手通過很冷或根熱的物體去操作閥門。閥門不能以手輪垂直向下的位置倒置安裝，以防系統中可能的雜質積聚在閥腔中，使得損壞閥門。
